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降低容器或腔室内的压力以形成真空的设备。分机械泵、扩散泵和离子泵三种。其基本方法是用物理法从容器内排出气体分子并从系统中排掉，或者从气相中除去气体分子，但留在系统中，例如成为液体。
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